# Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena

> Reputação e avaliação CAPES de Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena, por journals.com.br. Versão em HTML: https://journals.com.br/revista/journal-of-vacuum-science-technology-b-microelectronics-and-nanometer-structures-1071-1023. Base gerada em 2026-11-06.

- ISSN: 1071-1023 (ISSN-L 1071-1023)
- País: Estados Unidos
- Editora: American Institute of Physics
- Melhor estrato Qualis 2021-2024: B1

## Síntese: Intermediária

Revista aceita, fora dos estratos mais valorizados.

- Qualis 2021-2024: B1 (2017-2020: A4)

## Ressalvas

- **Observação**: A OpenAlex não registra publicação regular desta revista desde 2009. Ela pode ter parado de publicar ou mudado de nome/ISSN.

## Áreas que mais publicam na revista

Poucos artigos de programas brasileiros registrados; áreas estimadas pelo tema dos artigos (OpenAlex).

| Área | Afinidade | Estimativa 2025-2028 | Qualis 2021-2024 |
| --- | --- | --- | --- |
| Engenharias IV | 55% | sem estimativa | — |
| Astronomia / Física | 32% | sem estimativa | B1 |

Critérios de uma área para esta revista: https://journals.com.br/revista/journal-of-vacuum-science-technology-b-microelectronics-and-nanometer-structures-1071-1023.md?area=<área>, com o slug da área (ex.: engenharias-iv).

## Qualis por área

| Área | 2013-2016 | 2017-2020 | 2021-2024 |
| --- | --- | --- | --- |
| Astronomia / Física | B3 | A4 | B1 |
| Engenharias III | B1 | — | — |
| Engenharias IV | A2 | A4 | — |
| Materiais | B2 | — | — |

O Qualis 2021-2024 foi o último. A partir de 2025 a CAPES classifica artigos, não revistas.

## Indicadores abertos

- h5 estimado: 0 (artigos de 2021-2025, citações OpenAlex)
- Citações médias (2 anos): 0,00 — percentil 2 em Electrical and Electronic Engineering
- Índice h (total): 141; 244.150 citações
- Artigos indexados: 11.752, desde 1991
- Scopus: inativa (cobertura 2012-2014; 1995-2010; 1991-1992; 1986; 1982-1984)
- SciELO: não · DOAJ: não · MEDLINE: não
- Taxa de publicação (APC): —
- Áreas temáticas (OpenAlex): Engenharias 59%, Física e astronomia 32%, Ciência dos materiais 9%
- Listas de periódicos de outros países: CWTS Core sources; Polish journal list, 70 points

O que significa cada indicador: https://journals.com.br/indicadores

## Fontes

Qualis Periódicos (CAPES, Plataforma Sucupira), Dados Abertos CAPES (produção intelectual), OpenAlex, DOAJ, lista de fontes Scopus, NLM Catalog e SciELO.

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